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產(chǎn)品名稱:

半導(dǎo)體超純水說明

產(chǎn)品品牌: Onyx/安力斯 價(jià)格:
廠商性質(zhì): 生產(chǎn)廠家 產(chǎn)品時(shí)間: 2024-07-24
半導(dǎo)體超純水說明主要用于生產(chǎn)超純水過程中去除TOC有機(jī)物,降低TOC出水指標(biāo),使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品概述

半導(dǎo)體超純水說明

n 產(chǎn)品介紹:

EX-UPW-TOC產(chǎn)品系列是一款適用于純水(UPW)制備中對總有機(jī)碳(TOC)進(jìn)行降解的先進(jìn)可靠系統(tǒng)。通過更高185nm穿透率、實(shí)時(shí)在線的紫外線強(qiáng)度監(jiān)測、本地/遠(yuǎn)程的智能控制,實(shí)現(xiàn)高效、安全可控的總有機(jī)碳(TOC)降解。該設(shè)備在超純水制備工藝中,可使純水TOC降至1ppb以下。

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n 主要優(yōu)勢:

2 安全可控

真空級平行光束儀進(jìn)行理論安全劑量指導(dǎo)設(shè)計(jì),足夠紫外線劑量實(shí)時(shí)輸出可調(diào),系統(tǒng)智能自控。

2 更高去除效率

更高純石英玻璃,系統(tǒng)185nm紫外線強(qiáng)度輸出較傳統(tǒng)產(chǎn)品提高50%以上。

2 CFD流體模擬

進(jìn)行細(xì)節(jié)模擬設(shè)計(jì),提高處理效率

2 性能穩(wěn)定、操作簡便

本地與遠(yuǎn)程控制,配備PLC、觸摸屏,紫外強(qiáng)度實(shí)時(shí)顯示及預(yù)警

2 先進(jìn)的加工工藝

采用先進(jìn)設(shè)備、工藝加工,反應(yīng)器內(nèi)外電解拋光,Ra<0.2

2 多形式選擇

滿足現(xiàn)場多樣化安裝形式,產(chǎn)品可選擇成套撬裝,占地面積小

半導(dǎo)體超純水產(chǎn)品規(guī)格:

處理水量

2~60m3/h

燈管配置

12~48支

燈管類型

85w/155w(185/254nm雙波段)

石英套管

T>80%@185nm

鎮(zhèn)流器

50~100%輸出功率可調(diào)

反應(yīng)器材質(zhì)

316L

潔凈等級

內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

法蘭尺寸

DN50~DN200

額定壓力

PN10

控制柜等級

IP55,碳鋼噴塑

控制系統(tǒng)

本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng)

UV強(qiáng)度傳感器

分辨率0.01mw/cm2








半導(dǎo)體超純水說明應(yīng)用領(lǐng)域:

1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路板

2. 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

3. 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

4. 黑白顯像管熒光屏的生產(chǎn)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗

5. 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面清洗

6. 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產(chǎn)









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