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產(chǎn)品名稱:

半導(dǎo)體超純水 超純水設(shè)備

發(fā)布時(shí)間: 2024/12/25 有效時(shí)間: 2025/6/26

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體超純水

美國(guó)總統(tǒng)簽署了《2022芯片與科學(xué)法案》,設(shè)置“中國(guó)護(hù)欄"條款,限制企業(yè)在中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。事實(shí)上,中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)被卡脖子由來(lái)已久,原料、技術(shù)、供應(yīng)鏈等方方面面深受外國(guó)掣肘,甚至是我們最常見(jiàn)的水,當(dāng)然,這里的水指的并不是我們?nèi)粘I钪械淖詠?lái)水,而是“超純水"。

超純水是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

產(chǎn)品介紹:

Onyx的EX-UPW-TOC產(chǎn)品主要由高透185nm的紫外燈管,高輸出石英套管,內(nèi)外電解拋光的一體化紫外反應(yīng)器,高度精確的UV強(qiáng)度傳感器及智能自控系統(tǒng)組成。

185nmUV主要用于生產(chǎn)超純水過(guò)程中去除TOC有機(jī)物,降低TOC出水指標(biāo),使出水滿足美國(guó)ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級(jí)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。


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電子級(jí)水UV-TOC控制系統(tǒng)

半導(dǎo)體超純水產(chǎn)品規(guī)格:

處理水量

2~60m3/h

燈管配置

12~48支

燈管類型

85w/155w(185/254nm雙波段)

石英套管

T>80%@185nm

鎮(zhèn)流器

50~100%輸出功率可調(diào)

反應(yīng)器材質(zhì)

316L

潔凈等級(jí)

內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

法蘭尺寸

DN50~DN200

額定壓力

PN10

控制柜等級(jí)

IP55,碳鋼噴塑

控制系統(tǒng)

本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng)

UV強(qiáng)度傳感器

分辨率0.01mw/cm2









集成電路超純水應(yīng)用領(lǐng)域:

1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路板

2. 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

3. 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

4. 黑白顯像管熒光屏的生產(chǎn)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗

5. 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面清洗

6. 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產(chǎn)









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